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Probe Stations

 Aktualisiert am 26.07.2010

 

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Probe Stations, nackt und als komplette Kits (2 Positionierer und standard Halter, 10 Prüfspitzen), mit oder ohne Mikroskop für alle standard Waferdurchmesser, Cryogenic Teststationen für Niedrigtemperatur und -druck.

Mikroskop Optionen
Meiji Techno EMZ-5 Stereo Zoom Mikroskop auf 100mm Probe Station mit Pole Mount
100 mm: Überwiegend ausgestattet mit Stereo Zoom Mikroskopen vonVerbundmikroskop basierend auf Meiji Teilen auf 100mm Probe Station mit Pole Mount Meiji Techno oder vom Hersteller der Probe Station.
Für Messungen an IC’s, Waferteilen oder Modulen mit wesentlich feineren Strukturen haben wir aber auch Versionen mit Verbundmikroskop im Programm, komplett mit “pole mount” Adapter.

Verbundmikroskop basierend auf Meiji Teilen auf 100mm Probe station mit Flanschbefestigung150 mm und mehr: Stereo Mikroskope sind ab 150 mm generell nicht mehr ausreichend um die wesentlich feineren Einzelheiten zu zeigen und die genaue Ausrichtung der Prüfspitzen zu ermöglichen. Verbundmikroskope und Objektive mit großem Arbeitsabstand sind dann die Regel. Versionen basierend auf Meiji FU1000 Fokusblock (siehe Abbildung) erlaubt uns die Preisdifferenz zu Stereomikroskopen im akzeptablen Bereich zu halten.
Zoommikroskope sind eine weitere Option. Qioptiq’s AZoom 2 und Micro lassen keine Wünsche offen. Oder auf einem wesentlich niedrigerem Preisniveau dieses
Zoommikroskop, basierend auf Meiji Techno Bauelementen, ist sehr attraktiv.

150 mm Probe Station mit Meiji Techno Verbundmikroskop150 mm oder 6” Probe Stations kommen in 3 verschiedenen Designs. Die erwartete  Anwendung bestimmt Ihre Entscheidung. Für Productionskontrolle ist wahrscheinlich die Heavy Duty BD Baureihe mit den zusätzlichen Funktionen zur Beschleunigung der Arbeitsablaufs die richtige Wahl. In vielen Fällen mit nicht sich ständig wiederholenden Testsituationen wie IC Entwicklung und Universitätsforschung - wenn die Umstellungszeit nicht so bedeutsam ist - Werden die niedrigeren Kosten der LC Baureihe (wie abgebildet) ausschlaggebend sein.

200 mm Probe Station Kit mit Meiji Techno VerbundmikroskopBei Auswahl von 200 oder 300 mm Probe Station ist die BD Baureihe sehr attraktiv. 5 verschiedene Mikroskopsysteme, Mitutoyo FS70, Motic PSM-1000, Meiji Techno Verbund und Zoom Versionen, Qioptiq AZoom 2 und µ, erlauben die Optimierung für Ihre Anwending und helfen die Kosten im vorgesehenen Rahmen zu halten.
Die EB Baureihe kann für 200 oder 300 mm Wafergröße geliefert werden, ebenfalls mit 5 verschiedenen Mikroskopsystemen. Die LC Baureihe ist nur für maximal 200 mm Wafer erhältlich.

Cryogenic Probe Station mit MikroskopKomplette Cryogenic Probe Stations für Messungen bei extrem niedriger Temperatur und Luftdruck, mit Mikroskop
Temperatur kann im Bereich von 80 bis 480ºK kontrolliert werden, zum einen durch Regulierung des Flüssignitrogenflusses, zum anderen mit einer Heizspirale im Vakuum Chuck, komplett mit Regelkreis.

Auf dieser Seite finden Sie alle Probe Stations von 100 mm bis 300mm sowie Cryogenic Probe Stations. Wegen der Seitenlänge ist etwas vertikales Srolling nötig, eine Anwendung für ein Mausrad. Auf den Detailseiten - oder bitte gewünschte Abbildung in Liste anklicken - können Sie zum Umblättern die links- und rechtsweisenden Pfeile am oberen rechten Bildrand anklicken und die Seiten wie eine Slideshow benutzen. Der aufwärts zeigende Pfeil bringt Sie zurück zum Beginn der Datenliste.

Weiterhin können wir auch spezielle Probe Stations für RF Anwendungen und großflächige Substrate (z. B. 1300 x 900 LCD) zu attraktiven Preisen liefern. Bitte schicken Sie uns Ihre Anfrage.

Bei eventuellen Fragen kontaktieren sie uns bitte per Email. Sie können uns auch telefonisch erreichen (+1.361.384.0754). Wir rufen gerne zurück oder teilen Sie uns Ihre Rufnummer einfach per Email mit.
Weitere Kontaktmöglichkeiten hier.

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